第三代半导体材料主要是以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)等为代表的宽禁带半导体材料,其具有更宽的禁带宽度、更高的导热率、更高的抗辐射能力、更大的电子饱和漂移速率等特性。作为半导体领域的新秀,第三代半导体被寄予厚望,甚至被写入“十四五”规划中。但是第三代半导体的发展仍有很多技术问题亟待解决。一方面,第三代半导体器件SiC 或GaN的技术大大扩展了器件参数分布的区间,覆盖了以往没有出现过的高压高速区域,对器件的测试工具提出非常严苛的挑战;另一方面,第三代半导体材料外延等方面,如何降低衬底缺陷,提高良率,做到大尺寸、低成本等问题也需要尽快解决。
基于此,此会拟于2021年12月28日举办“第三代半导体材料、器件及检测技术发展和应用”主题网络研讨会,依托“网络讲堂”栏目,邀请业内专家以及厂商技术人员参与本次网络研讨会,就第三代半导体检测技术与应用等话题共同探讨,为广大第三代半导体从业者、检测人员和专家学者提供一个交流的空间。
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